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FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自動薄膜厚度測繪系統，用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程，通過真空固定在載臺上時進行精確測量。可依測量厚度和波長范圍應用需求可在在 200-1700nm 光譜范圍內提供各種光學配置

系統可以為各種材質薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創新的融合光譜反射技術、近紅外干涉技術以及高亮度光源驅動的光譜橢偏儀技術的多傳感器融合測量技術，是國內可以實現同質膜厚全自動檢測的系統。

QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結合，可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導體、生命科學和制藥行業的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優化。

硬化涂層膜厚儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。

Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo是一個模塊化和可擴展平臺的光學測量設備，用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。

FR-InLine 是一款模塊化可擴展的在線薄膜厚度測量儀（膜厚儀），可進行在線非接觸測量 3nm-1mm 厚度范圍內的涂層。$nFR-InLine 膜厚儀并可以依據各種不同應用設置多個參數的實時測量，例如：反射率和透射率光譜、厚度、色座標。$nFR-InLine 膜厚儀測量軟件可以在標準 Windws 10/11 中執行。